儀器中文全名

E06 自動研磨拋光機

儀器英文全名

E06 Automatic Grinding and Polishing Machine

儀器位置

成功大學自強校區 儀器設備大樓2樓 206室

單位／教授

核心設施中心

儀器管理人

施慧蓉　

TEL

06-2757575#31376

E-mail

z7306007@email.ncku.edu.tw

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

£光學檢測：

£光譜儀　£顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備

£晶相分析：

£XRD

¢其他：

¢工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

自動研磨拋光機是一種可自動化進行材料表面處理的設備，常用於金屬、陶瓷、半導體、地質樣品等材料的研磨與鏡面拋光。其功能包括自動施力、定時控制與多段程序設定，能提升樣品製備的一致性與效率。應用廣泛於材料科學、失效分析、電子顯微鏡樣品前處理及品質控制等領域，有助於獲得高品質的樣品表面以進行後續顯微分析。

廠牌／型號

廠牌：盈億

型號：PM2-200AU3

重要規格

• 研磨盤：直徑203 mm，PVC雙盤，可更換
• 研磨轉速：≧ 250 r.p.m.，無段調整
• 馬達：DC馬達375 W
• 自動研磨部分：
  • 時間：0～10分鐘數字式，可設定
  • 轉速：70 r.p.m.
  • 試片夾：Φ32 mm 3孔
  • 壓力：0～10 kg彈簧式手動調整

取樣／使用

注意事項

• 適用樣品型態：塊材
• 試片製作由使用者自行處理

開放時段

每週一～五，09:00～17:00

＊預約前請與管理者聯絡

訓練課程規定

請至核心設施中心E化系統報名：https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/

收費標準（含訓練課程）

校內學術：200元／時

校外學術：200元／時

業界：600元／時

＊計費方式以1小時為一單位

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php