A05掃瞄電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)

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A05掃瞄電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)

儀器中文名稱：A05掃瞄電子顯微鏡

儀器英文名稱：Scanning Electron Microscope

儀器英文簡稱：SEM

壹、儀器設備說明 (規格)：

SUPRA™ 55, a member of the SUPRA™ series of Field Emission Scanning Electron

Microscopes, is a flexible ultra-high performance FESEM featuring the GEMINI column

technology. It is controlled by a 32 bit computer system using MicrosoftR WindowsR

XP as operating system and has a flexible and easy to use graphical user interface

(GUI).

儀器主要規格

Resolution at optimum working distance	Gemini® column with 4 pA - 20nA Probe current
	Without AsB detector 0.8 nm at 30 kV(STEM mode) 0.8 nm at 15 kV 1.6 nm at 1 kV	AsB detector fitted (Optional) 0.8 nm at 30 kV(STEM mode) 1.0 nm at 15 kV 1.7 nm at 1 kV
	Gemini® column with 12 pA - 100nA beam current
	Without AsB detector 0.8 nm at 30 kV(STEM mode) 1.0 nm at 15 kV 1.9 nm at 1 kV	AsB detector fitted (Optional) 0.8 nm at 30 kV(STEM mode) 1.2 nm at 15 kV 2.0 nm at 1 kV
Acceleration Voltage	Range:0.02-30Kv Adjustment: Continuously variable in 10 Volt steps.
Probe Current	Configuration 1：4 pA - 20 nA with integrated High Current – Depth of Field module. Stability：Better than 0.2 %/h. Configuration 2：12 pA - 100 nA with integrated High Current – Depth of Field module.
Magnification
	Range：12-1,000,000x
	Adjustment：Continuously variable in either coarse or fine modes.
	Pre-sets：Selectable from a user definable table.
	Auto-Compensation：Magnification is precisely corrected automatically for changes in working distance or acceleration voltage.
	Calibration：Display magnification precisely corrected for changes in hard copy output device.
Dimensions	330 mm inner diameter and 270 mm height.
Movements*	X＝130 mm，Y＝130 mm，Z＝50 mm，T＝-3°-70°，R＝360° continuous * May be reduced by specimen size and operating conditions.
Scanning Rates	Fifteen non-interlaced electron beam scan speeds are provided as standard from 0.09 sec/frame to 42 min/frame at 1024 x 768 pixel resolution.
Ultimate High Vacuum	The ultimate vacuum (HV mode) in the specimen chamber is better than 2.0 x 10 Pa

貳、服務項目：

1.以學術研究為主，服務為輔。
2.提供待測樣品表面結構的細部觀察
3.提供待測樣品結晶狀的觀察

參、取樣、使用應注意事項：

（1）樣品需乾燥，在真空中無揮發性，以免破壞真空。

（2）禁止使用磁性材料、有機物、易揮發等有破壞真空之樣品成分。

（3）其他掃瞄樣品如‘蓋玻片’、‘粉末’或其他易碎物者，實驗後需於實驗記錄上註記。

（4）SEM可存取成影像檔(.tiff、.bmp、.jpg)，請自行攜帶光碟片存取檔案，禁止以隨身碟存取檔案。

肆、使用時段與預約：

1.使用時段

週一～週日24小時開放預約使用，學校停電時、農曆春節時將提前關機；關機、跳電或電子槍氣壓偏高時，將暫停使用一天，進行baking。

2.SEM採預約使用制，經管理員考核通過的操作者可以自行上網預約使用。

3.預約時段使用規定

(1)上網預約時段後，請確實依照預約時段來進行操作機台。

(2)若超過預約時段開始時間10分鐘都沒有使用機台，則該次時段的預約功能自動取消，需要使用該次時段者可以直接上網預約後，即可使用。

4.非操作者請於委託操作前2週向成功大學物理系負責人或管理員提出申請，再由管理員代為上網預約使用時間。

5.目前並無非操作者的使用時段，採提出申請預約制，經負責人同意、管理員可代為操作的情況下，提供委託操作SEM。

6.經預約排定時間後，若因故不能使用，請務必於預約時間前三日向管理員告知取消。如未在前三日取消而無故不到者，仍須繳交一小時使用費。

伍、訓練課程規定辦法

1.訂定SEM操作考試內容，學習者由各實驗室學長姊負責教導如何操作，經管理員考核並通過操作考試者，方能成為操作者，進行獨自操作。

2.SEM操作考試內容明訂考試規則，考試內容有硬體操作和軟體操作兩大項目，請向管理員索取。

陸、收費辦法及標準(含訓練課程)：

項目說明	計費方式說明
	營利事業單位	學術研究單位		備註
		委託操作	自行操作
SEM	1100元/時	700元/時	500元/時	左列計費方式均未含管理費及營業稅26%
影像輸出	20元/張	10元/張	5元/張

柒、儀器聯絡與管理人：

聯絡人：蔡宜庭　諮詢教授：吳忠霖

分機：65039　　　　　分機：65219

Email:yttsai@mail.ncku.edu.tw

器放置地點：物理二館1樓49110室

捌、其他注意事項：

1.如有特別需求者，請向設備負責人說明，經同意後方可進行操作。
2.預約使用必須為本人到場，若有責任歸屬時，視為該時段預約者之責任。
3.SEM訂定操作規則和使用公約，違規者將視違規內容給予停權2週至3個月的處分。若情節重大者，將提報指導教授與實驗室負責人，最重將取消使用資格。
4.未經預約使用即自行操作，視同違規，將給予停權2週的處分。
5.請勿私自將實驗室內的任何物品如碳膠、鑷子等帶走，以免影響下一位使用者操作。
6.實驗室桌上有SEM使用情況紀錄表，有操作使用SEM者，務必確實填寫。若SEM發生異狀時，需詳實填寫狀況、初步應變措施，並盡快通知管理員處理；若因延遲申報造成SEM損毀，視為該使用者之責任並負責之。
7.使用者必須遵守操作規範，禁止與操作SEM無關的任何行為，如有不當使用之行為經發現將停權一個月，不當行為後故意不通報者停權三個月。若有毀損儀器，必須負修理賠償責任，同時將給予停權三個月的懲處，並提報指導教授與實驗室負責人。
8.禁止使用有機物、易揮發等有破壞真空之樣品，所有樣品必須確保乾燥。若因樣品準備不當造成真空系統污染，使用者必須負責將真空系統復原，同時將給予停權三個月的懲處，並提報指導教授與實驗室負責人。
9.禁止私下授權給非SEM操作者自行操作，以免毀損儀器，違規的操作者將提報指導教授與實驗室負責人另議懲處。