A05 掃描電子顯微鏡

A05 Scanning Electron Microscope (SEM)

壹、儀器設備規格

SUPRA™ 55, a member of the SUPRA™ series of Field Emission Scanning Electron Microscopes, is a flexible ultra-high performance FESEM featuring the GEMINI column technology. It is controlled by a 32 bit computer system using Microsoft ® Windows ® XP as operating system and has a flexible and easy to use graphical user interface (GUI).

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貳、服務項目

1. 以學術研究為主，服務為輔。
2. 提供待測樣品表面結構的細部觀察。
3. 提供待測樣品結晶狀的觀察。

參、取樣與使用注意事項

1. 樣品需乾燥，在真空中無揮發性，以免破壞真空。
2. 禁止使用磁性材料、有機物、易揮發等有破壞真空之樣品成分。
3. 其他掃瞄樣品如＂蓋玻片＂、＂粉末＂或其他易碎物者，實驗後需於實驗紀錄上註記。
4. SEM可存取成影像檔（.tiff、.bmp、.jpg），請自行攜帶光碟片存取檔案，禁止以隨身碟存取檔案。

肆、開放時段

1. 使用時段：

週一～週日24小時開放預約使用，學校停電時、農曆春節時將提前關機；關機、跳電或電子槍氣壓偏高時，將暫停使用一天，進行baking。

2. SEM採預約使用制，經管理員考核通過的操作者可以自行上網預約使用。
3. 預約時段使用規定：

• 上網預約時段後，請確實依照預約時段來進行操作機台。
• 若超過預約時段開始時間10分鐘都沒有使用機台，則該次時段的預約 功能自動取消，需要使用該次時段者可以直接上網預約後，即可使用。

4. 非操作者請於委託操作前2週向成功大學物理系負責人或管理員提出申請，再由管理員代為上網預約使用時間。
5. 目前並無非操作者的使用時段，採提出申請預約制，經負責人同意、管理員可代為操作的情況下，提供委託操作SEM。
6. 經預約排定時間後，若因故不能使用，請務必於預約時間前三日向管理員告知取消。如未在前三日取消而無故不到者，仍須繳交一小時使用費。

伍、訓練課程規定

1. 訂定SEM操作考試內容，學習者由各實驗室學長姊負責教導如何操作，經管理員考核並通過操作考試者，方能成為操作者，進行獨自操作。
2. SEM操作考試內容明訂考試規則，考試內容有硬體操作和軟體操作兩大項目，請向管理員索取。

陸、收費標準（含訓練課程）※

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柒、儀器聯絡與管理人

聯絡人：蔡宜庭　

電話：06-2757575 #65039　　　　　

Email: yttsai@mail.ncku.edu.tw

諮詢教授：吳忠霖

電話：06-2757575 #65219

儀器放置地點：物理二館1樓49110室

捌、其他注意事項

1. 如有特別需求者，請向設備負責人說明，經同意後方可進行操作。
2. 預約使用必須為本人到場，若有責任歸屬時，視為該時段預約者之責任。
3. SEM訂定操作規則和使用公約，違規者將視違規內容給予停權2週至3個月的處分。若情節重大者，將提報指導教授與實驗室負責人，最重將取消使用資格。
4. 未經預約使用即自行操作，視同違規，將給予停權2週的處分。
5. 請勿私自將實驗室內的任何物品如碳膠、鑷子等帶走，以免影響下一位使用者操作。
6. 實驗室桌上有SEM使用情況紀錄表，有操作使用SEM者，務必確實填寫。若SEM發生異狀時，需詳實填寫狀況、初步應變措施，並盡快通知管理員處理；若因延遲申報造成SEM損毀，視為該使用者之責任並負責之。
7. 使用者必須遵守操作規範，禁止與操作SEM無關的任何行為，如有不當使用之行為經發現將停權一個月，不當行為後故意不通報者停權三個月。 若有毀損儀器，必須負修理賠償責任，同時將給予停權三個月的懲處，並提報指導教授與實驗室負責人。
8. 禁止使用有機物、易揮發等有破壞真空之樣品，所有樣品必須確保乾燥。若因樣品準備不當造成真空系統污染，使用者必須負責將真空系統復原，同時將給予停權三個月的懲處，並提報指導教授與實驗室負責人。
9. 禁止私下授權給非SEM操作者自行操作，以免毀損儀器，違規的操作者將提報指導教授與實驗室負責人另議懲處。
10. 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。