E09 離子研磨機（Hitachi Ion Milling System）

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E09 離子研磨機（Hitachi Ion Milling System）

儀器中文全名	E09 離子研磨機
儀器英文全名	E09 Hitachi Ion Milling System
儀器位置	成大材料系館8F-44810 材料織構實驗室
單位／教授	材料系（所）／郭瑞昭教授
儀器管理人	劉竣銘
TEL	06-2754202
E-mail	karta0921811@gmail.com
技術類別	£前段製程：	£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨	£表面分析：	£電子能譜儀　£表面特性
	£後段製程：	£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠	£掃描探針：	£顯微系統　£機械性質　 £形貌分析
	¢電子顯微：	£SEM　£TEM　¢樣品製備	£物理性質：	£磁性　£熱分析　£電學
	£光學檢測：	£光譜儀　£顯微形貌分析	£生物醫學：	£分析　£樣品製備
	£晶相分析：	£XRD	£其他：	£工程樣品製備　£材料力學　 £電腦計算
	£分析化學：	£核磁共振儀　£質譜／層析
應用／功能簡介	平坦化研磨（Flat mode）：30分鐘／次為限（收費單位為30分鐘）剖面研磨（Cross section mode）：1小時／次為限（收費單位為1小時）
廠牌／型號	廠牌：Hitachi		型號：IM-4000 Plus
重要規格	使用氣體：氬氣加速電壓：0 kV to 6 kV 最大研磨速率：20 μm/h（頃斜60° 偏離中心4mm）試片偏離中心範圍：0 mm to 5 mm 旋轉角：1 r/m、25 r/m 搖擺角：± 60°、± 90° 機台大小：616 (W) x 705 (D) x 312 (H) mm 機台重量：主機48 kg、幫浦28 kg
取樣／使用注意事項	試片限制（Flat mode）：3 (W) × 3 (D) × 3(H) cm 試片限制（Cross section mode）：20 (W) × 12(D) × 7 (H) mm 有效工作範圍（Flat mode）：5 × 5 mm 有效工作範圍（Cross section mode）：500 μm/h
開放時段	請複製、填寫下方附件二－使用申請表（存為 .word），填寫後繳交至材料新館8F-44810室技術員處或寄信至nckulmt@gmail.com。首次使用本儀器，請於事前先與技術人員接洽相關事宜。
訓練課程規定	請複製、填寫下方附件一－訓練課程申請表（存為 .word）。訓練對象：以材料系學生為對象，博士生優先訓練。訓練方式：材料系各實驗室以一人為限，每月開放一人申請本單位之訓練課程。訓練內容：須參加本單位之訓練課程四次後，於一個月內向技術員申請上機測驗，測驗通過者即有一般使用者之使用資格。一般使用者執照執有辦法：原擁有執照之使用者，若連續八週未曾使用過該儀器，將取消該使用執照，其應重新負擔認證費用及申請執照認證。
收費標準（含訓練課程）	校內學術（材料系及校內其他單位）：1200元校內學術（有單位配合款之管理單位）：課程費用：1000元（含訓練+認證）／自行使用費用：300元校外學術：1800元業界：3000元
預約系統	https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php

離子研磨機　Hitachi Ion Milling System

附件一　訓練課程申請表

申請人姓名：　　　　　　　　　　　

申請人年級：　　　　　　　　　　　

申請日期：　　　年　　　月　　　日

申請使用單位：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

Ion Milling使用經驗：£從未使用　£使用時數小於20小時　£使用時數大於20小時

聯絡電話：　　　　　　　　

聯絡Email：　　　　　　　　　

導師簽章：　

授課人簽章：

備註及說明：

離子研磨機　Hitachi Ion Milling System

附件二　使用申請表

使用者姓名：　　　　　　　　　　　

申請日期：　　　年　　　月　　　日

申請使用單位：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

聯絡電話：　　　　　　　　　　　

聯絡Email：　　　　　　　　

操作方式：£自行操作　£代工

服務項目：£Flat mode　£Cross section mode

申請使用單位主管簽章：

樣品名稱：　　　　　　　　

　　狀態：£固體　　£粉末　　£其他：

　　性質：£穩定　　£揮發性　£磁性　　£毒性　　£其他：

備註及說明：