E09離子研磨機(Hitachi Ion Milling System)

壹、儀器設備說明 (規格)：

儀器購置日期：106年7月

儀器設備管理維護單位：成大材料系

儀器放置地點：成大材料系館8F-44810 材料織構實驗室

儀器廠牌：Hitachi

儀器型號：IM-4000 Plus

儀器主要規格：

• 使用氣體：氬氣
• 加速電壓：0kV to 6kV
• 最大研磨速率：20μm/h(頃斜60° 偏離中心4mm)
• 試片偏離中心範圍：0mm to 5mm
• 旋轉角：1 r/m, 25r/m
• 搖擺角：±60∘,±90∘
• 機台大小：616 (W) x 705 (D) x 312 (H) mm
• 機台重量：主機48kg　幫浦28kg

貳、服務項目：

1. 平坦化研磨(Flat mode)：30分鐘/次 為限(收費單位為30分鐘)
2. 剖面研磨(Cross section mode)：1小時/次 為限(收費單位為1小時)

參、取樣、使用應注意事項：

1. 試片限制(Flat mode)：3 (W) × 3 (D) × 3(H)cm
2. 試片限制(Cross section mode)：20 (W) × 12(D) × 7 (H)mm
3. 有效工作範圍(Flat mode)：5 × 5mm
4. 有效工作範圍(Cross section mode)：500μm/h

肆、使用時段與預約：

請填寫自行操作表格(附件二)，填寫後繳交至材料新館8F-44810室技術員處或寄信至nckulmt@gmail.com。首次使用本儀器，請於事前先與技術人員接洽相關事宜。

伍、訓練課程規定辦法

1. 訓練對象：以材料系學生為對象，博士生優先訓練。
2. 訓練方式：材料系各實驗室以一人為限，每月開放一人申請本單位之訓練課程。
3. 訓練內容：須參加本單位之訓練課程四次後，於一個月內向技術員申請上機測驗，測驗通過者即有一般使用者之使用資格。
4. 一般使用者執照執有辦法：原擁有執照之使用者，若連續八週未曾使用過該儀器，將取消該使用執照，其應重新負擔認證費用及申請執照認證。

陸、收費辦法及標準(含訓練課程)：(使用費用為每小時計算)

校內學術:

材料系及校內其他單位

有單位配合款

代工費用：1200元

管理單位

其他

課程費用：1000元(含訓練500+認證500)

自行使用費用：300元

無

校外學術：

代工費用：1800元

業界：

代工費用：3000元

柒、儀器聯絡與管理人：

儀器設備負責教授：郭瑞昭教授06-2754194

　　　　　　　　　林士剛教授06-2757575#62970

儀器操作技術人員：蕭世杰 06-2754202

捌、其他注意事項：

無

申請人姓名：　　　　　　　     　  　　　

申請人年級：　　　　　　　     　  　　

申請日期：　　　年　　　月　　　日

申請使用單位：　　　　　　　　     　　　

Ion Milling使用經驗：□從未使用 □使用時數小於20小時 □使用時數大於20小時

聯絡電話：　　　　　　　         　　

聯絡Email：　　　　　　　         　　

導師簽章：　　　　　　　　　　　

授課人簽章：　　　　　　　　　　　

備註及說明： 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　

使用者姓名：　　　　　　　     　  　　　 申請日期：　　　年　　　月　　　日

申請使用單位：　　　　　　　　     　　　 主管簽章：　　　　　　　　　　　

聯絡電話：　　　　　　　         　　　　 聯絡Email：　　　　　　　     　

操作方式：□自行操作 　□代工

服務項目：□Flat mode　□Cross section mode

樣品名稱：　　　　　　                              　　

　　狀態：□固體　　□粉末　　□其他：                  

　　性質：□穩定　　□揮發性　□磁性　　□毒性　　□其他：                  

備註及說明：