儀器中文全名

F04 表面凱爾文探針掃描光譜儀與光電子能譜儀

儀器英文全名

F04 Scanning Kelvin Probe and Air Photoemission Spectroscopy

儀器位置

綜合大樓 48301A

單位／教授

光電工程系（所）／陳昭宇教授

儀器管理人

陳泓學／林振富博士

TEL

(06) 275-7575轉63911轉3011

E-mail

f84066171@gs.ncku.edu.tw

hvmat.cflin@gmail.com

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

¢表面分析：

¢電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

£光學檢測：

£光譜儀　£顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備

£晶相分析：

£XRD

£其他：

£工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

Kelvin Probe探針頭是一種非接觸式振動電容器，可靈活地進行數秒至數小時的測量並獲得實驗結果。表面凱爾文探針掃描光譜儀（Scanning Kelvin Probe Spectroscopy）可快速量測功函數或表面電位（relative work function or surface potential）。光電子能譜儀（Air Photoemission Spectroscopy）通過空氣中的電子發射來測量材料的價帶位置，不需要真空。在3.4 eV至7.0 eV的激發範圍內，APS系統能夠測量金屬的絕對功函數和半導體的價帶數值。

廠牌／型號

廠牌：KP Technology                              　

型號：APS04

重要規格

• Tip diameter: 2 mm
• Work function resolution: 1 ~ 5 mV
• Scanning range: < 40 x 40 mm
• Kelvin probe system in faraday cage
• Calibration sample: silver and gold
• Excitation range of 3.4 ~ 7.0 eV
• 4 ~ 5 mm diameter light spot

取樣／使用

注意事項

• 樣品須沉積在導電基板（TCO或金屬）上。
• 樣品須能置放於載台大小，面積需大於1cm²。
• 樣品須為薄膜，如為粉體請壓成錠。
• 為非接觸式量測，探針一旦接觸樣品即損毀，使用者若操作不當，將被停權禁止使用該機台。
• 預約儀器使用時段前請務必和儀器管理人聯繫確認所要進行實驗內容，確認實驗可行性。若未與儀管理人聯繫確認導致實驗無法如期進行，將不予負責。
• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

時段一：每週二，14:00～17:00

時段二：每週四，14:00～17:00

訓練課程規定

需通過表面凱爾文探針掃描光譜儀與光電子能譜儀使用操作訓練與測驗

收費標準（含訓練課程）

校內學術：自行操作：1500元／時；代工：3500元／時或2000元／片

校外學術：自行操作：2250元／時；代工：5250元／時或3000元／片

業界：自行操作：3000元／時；代工：7000元／時或4000元／片

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php