F04 表面凱爾文探針掃描光譜儀與光電子能譜儀

F04 Scanning Kelvin Probe and Air Photoemission Spectroscopy

壹、儀器設備規格

表面凱爾文探針掃描光譜儀（Scanning Kelvin Probe Spectroscopy）

  Tip diameter: 2 mm

  Work function resolution: 1 ~ 5 mV

  Scanning range: < 40 x 40 mm

  Kelvin probe system in faraday cage

  Calibration sample: silver and gold

光電子能譜儀（Air Photoemission Spectroscopy）

  Tip diameter: 2 mm

  Excitation range of 3.4 ~ 7.0 eV

  4 ~ 5 mm diameter light spot

貳、服務項目

Kelvin Probe探針頭是一種非接觸式振動電容器，可靈活地進行數秒至數小時的測量並獲得實驗結果。表面凱爾文探針掃描光譜儀（Scanning Kelvin Probe Spectroscopy）可快速量測功函數或表面電位（relative work function or surface potential）。光電子能譜儀（Air Photoemission Spectroscopy）通過空氣中的電子發射來測量材料的價帶位置，不需要真空。在3.4 eV至7.0 eV的激發範圍內，APS系統能夠測量金屬的絕對功函數和半導體的價帶數值。

參、取樣與使用注意事項

1. 樣品須沉積在導電基板（TCO或金屬）上。
2. 樣品須能置放於載台大小，面積需大於1cm²。
3. 樣品須為薄膜，如為粉體請壓成錠。
4. 為非接觸式量測，探針一旦接觸樣品即損毀，使用者若操作不當，將被停權禁止使用該機台。
5. 預約儀器使用時段前請務必和儀器管理人聯繫確認所要進行實驗內容，確認實驗可行性。若未與儀管理人聯繫確認導致實驗無法如期進行，將不予負責。

肆、開放時段

1. 開放服務時段：

時段一：每週二，14:00～17:00

時段二：每週四，14:00～17:00

2. 每次預約，以一個小時為單位
3. 預約方式：於線上預約系統進行

本儀器提供代工與自行操作之服務，若需自行操作，須先通過訓練課程方能透過線上系統預約開放時段。

伍、訓練課程規定

需通過表面凱爾文探針掃描光譜儀與光電子能譜儀使用操作訓練與測驗

陸、收費標準（含訓練課程）※

校內學術：

自行操作：1500元／時；代工：3500元／時或2000元／片

校外學術：

自行操作：2250元／時；代工：5250元／時或3000元／片

業界：

自行操作：3000元／時；代工：7000元／時或4000元／片

＊以上收費標準，不足一小時，以一小時計費。

柒、儀器聯絡與管理人

陳泓學

E-mail：f84066171@gs.ncku.edu.tw

林振富 博士

Email：sunboy@mail.mse.ncku.edu.tw

諮詢教授：陳昭宇 教授

捌、其他注意事項

1. 探針若接觸到樣品表面或使用不當造成儀器任何損壞，應照價賠償。
2. 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。