儀器中文全名

F06 四點探針電阻量測儀

儀器英文全名

F06 Four-Point Probes Resistance Meter

儀器位置

成功校區理學教學大樓 化學系 36711室

單位／教授

化學系／陳以文教授

儀器管理人

黃柏衡

TEL

06-2757575分機65314轉720

E-mail

L36134227@gs.ncku.edu.tw

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

¢物理性質：

£磁性　£熱分析　¢電學

£光學檢測：

£光譜儀　£顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備

£晶相分析：

£XRD

£其他：

£工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

可以經由輸入薄膜厚度、試片大小，即可量測待測物之電阻值 Resistance、片電阻率 Sheet Resistivity、體電阻率 Volume Resistivity、電導率 Conductivity。

廠牌／型號

廠牌：凱思隆                            　

型號：凱思隆科技股份有限公司／LRS4-T

重要規格

可以經由輸入薄膜厚度、試片大小，即可量測待測物之電阻值 Resistance、片電阻率 Sheet Resistivity、體電阻率 Volume Resistivity、電導率 Conductivity。

取樣／使用

注意事項

• 1.預約前請先聯繫管理人；2. 再進行系統預約；3. 下載預約單並填寫預約單內容之後再回傳給管理人。
• 預約單連結：https://docs.google.com/document/d/1knD0LB28ci4kdA2lJIQFlgmZPwkssNyd/edit
• 資料存檔先暫存到電腦資料夾中，送測樣品案件將於收件後10個工作天內完成量測。急件在收件後5個工作天內完成量測，並以1.5倍價格計價；特急件在收件後3個工作天內完成量測，並以2倍價格計價。光譜檔案於委託者繳交繳費單後，以E-mail寄送。不提供鑑定服務。
• 分析費用只提供量測報告，不提供量測數據的學理諮詢服務，如需要提供數據學理諮詢，將額外計費。
• 匯款手續費請自行吸收。
• 樣品如需寄回，酌收運費 100元。
• 樣品寄送地址：701401 台南市東區大學路1號  化學系36718室  黃柏衡 同學
• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

週一至週五，10:00～12:00、14:00～17:00

訓練課程規定

本儀器由專人操作，不開放訓練課程。

收費標準（含訓練課程）

校內學術：400元／件

校外學術：700元／件

業界：1000元／件

＊每件樣品只測一次（一個位置）。若同一件樣品需要量測不同位置（或者重複多量幾次），則收費將乘上量測次數。

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php