H18 白光干涉儀

H18 White Light Interferometer

壹、儀器設備規格

儀器購置年月：2020年10月

加入共儀年月：2023年12月

廠牌及型號：BRUKER/ContourGT-K

白光干涉儀是非破壞性的光學量測機台，原理是藉由來自光源的光波透過分光鏡分為兩個光束，分別到參考面鏡與待測物，反射後透過分光鏡到達CCD產生干涉條紋，CCD一次紀錄整個視野的干涉條紋，當改變光程差（高度）時，干涉條紋的位置會隨著改變，藉由CCD記錄每個高度的視野平面干涉條紋，經由運算後即可獲得3D的輪廓資訊

儀器規格：

縱向量測範圍：100 mm（4吋）

最大掃描速度：47 μm/sec（標準CCD）

樣品反射率範圍：0.05 %～100 %

 XY樣品載台：150 mm（6吋）手動載台

樣品載台荷重：10 lb（約4.5 kg）

鏡頭傾斜：±6°手動載台傾斜

光學量測模組：雙LED照明（白光＆綠光），可搭配旋轉物鏡。

物鏡選擇：2.5x、5x、10x、50x

視野範圍：1923 μm*1442 μm（物鏡2.5x）、959 μm*719 μm（物鏡5x）、475 μm*356 μm（物鏡10x）、96 μm*72 μm（物鏡50x）

儀器放置地點：成功大學自強校區 儀器設備大樓2樓 203室

貳、服務項目

1. 2D／3D量測（2D/3D Measurement）
2. 表面粗糙度（Surface Roughness）
3. 膜厚／段差量測（Thickness／Height）

參、取樣與使用應注意事項

1. 自行操作：本設備以提供使用者自行操作為主，使用者先完成儀器訓練課程後，方可自行操作。
2. 適用樣品型態（Sample type）：薄膜（Thin film）、塊材（Bluk），試片尺寸及重量需符合設備規格（XY樣品載台150 mm、縱向量測範圍100 mm、載台荷重4.5 kg）。
3. 樣品需具備一定的反射率，如表面不只一種材質，避免反射率差異導致結果異常，建議先於表面鍍上一層金屬，再進行量測。
4. 視野範圍：1923 μm*1442 μm（物鏡2.5x）、959 μm*719 μm（物鏡5x）、475 μm*356 μm（物鏡10x）、96 μm*72 μm（物鏡50x）

肆、開放時段

1. 操作時段以半小時為單位計算，一次預約至少半小時
2. 自行操作全時段開放
3. 委託操作開放時段：

週一、三、五：13:30～16:30

週二、四：9:00～12:00

＊委託操作者請於至少２個工作天前預約

伍、訓練課程規定

請至核心設施中心E化系統報名

陸、收費標準（含訓練課程）※

校內學術：640元／時（委託代工），400元／時（自行操作）

校外學術：640元／時（委託代工），400元／時（自行操作）

業界：2000元／時（委託代工），1000元／時（自行操作）

訓練課程（含認證）：1500元（學術），3000元（業界）

柒、儀器聯絡與管理人

姓名：朱紋慧

電話：06-2757575 #31379

E-mail：z11005046@ncku.edu.tw

樣品寄送地址：701401 臺南市東區大學路1號 成功大學核心設施中心 自強校區照坤精密儀器大樓2樓 203室

捌、其他注意事項

1. 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。