儀器中文全名

H18 白光干涉儀

儀器英文全名

H18 White Light Interferometer

儀器位置

成功大學自強校區 儀器設備大樓2樓 203室

單位／教授

核心設施中心

儀器管理人

朱紋慧

TEL

06-2757575 #31379

E-mail

z11005046@ncku.edu.tw

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

■光學檢測：

£光譜儀　■顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備

£晶相分析：

£XRD

£其他：

£工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

白光干涉儀是非破壞性的光學量測機台，原理是藉由來自光源的光波透過分光鏡分為兩個光束，分別到參考面鏡與待測物，反射後透過分光鏡到達CCD產生干涉條紋，CCD一次紀錄整個視野的干涉條紋，當改變光程差（高度）時，干涉條紋的位置會隨著改變，藉由CCD記錄每個高度的視野平面干涉條紋，經由運算後即可獲得3D的輪廓資訊。

廠牌／型號

廠牌：BRUKER

型號：ContourGT-K

重要規格

• 縱向量測範圍：100 mm（4吋）
• 最大掃描速度：47 μm/sec（標準CCD）
• 樣品反射率範圍：0.05 %～100 %
• XY樣品載台：150 mm（6吋）手動載台
• 樣品載台荷重：10 lb（約4.5 kg）
• 鏡頭傾斜：±6°手動載台傾斜
• 光學量測模組：雙LED照明（白光＆綠光），可搭配旋轉物鏡。
• 物鏡選擇：2.5x、5x、10x、50x
• 視野範圍：1923 μm*1442 μm（物鏡2.5x）、959 μm*719 μm（物鏡5x）、

475 μm*356 μm（物鏡10x）、96 μm*72 μm（物鏡50x）

取樣／使用

注意事項

• 自行操作：本設備以提供使用者自行操作為主，使用者先完成儀器訓練課程後，方可自行操作。
• 適用樣品型態（Sample type）：薄膜（Thin film）、塊材（Bluk），試片尺寸及重量需符合設備規格（XY樣品載台150 mm、縱向量測範圍100 mm、載台荷重4.5 kg）。
• 樣品需具備一定的反射率，如表面不只一種材質，避免反射率差異導致結果異常，建議先於表面鍍上一層金屬，再進行量測。
• 視野範圍：1923 μm*1442 μm（物鏡2.5x）、959 μm*719 μm（物鏡5x）、

475 μm*356 μm（物鏡10x）、96 μm*72 μm（物鏡50x）

• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

1. 操作時段以15分鐘為單位計算，一次預約至少1小時。
2. 自行操作全時段開放
3. 委託操作開放時段：預約前請事先聯絡管理人

＊委託操作者請於2個工作天前預約

訓練課程規定

請至核心設施中心E化系統報名：https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/

收費標準（含訓練課程）

校內學術：640元／時（委託代工），400元／時（自行操作）

校外學術：640元／時（委託代工），400元／時（自行操作）

業界：2000元／時（委託代工），1000元／時（自行操作）

訓練課程（含認證）：1500元（學術），3000元（業界）

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php