壹、儀器設備說明 (規格)：

儀器購置年月：2020年10月

加入共儀年月：2023年12月

廠牌及型號：BRUKER/ContourGT-K

白光干涉儀是非破壞性的光學量測機台，原理是藉由來自光源的光波透過分光鏡分為兩個光束，分別到參考面鏡與待測物，反射後透過分光鏡到達CCD產生干涉條紋，CCD一次紀錄整個視野的干涉條紋，當改變光程差(高度)時，干涉條紋的位置會隨著改變，藉由CCD記錄每個高度的視野平面干涉條紋，經由運算後即可獲得3D的輪廓資訊

儀器規格：

1. 縱向量測範圍：100 mm （4吋）
2. 最大掃描速度：47 μm/sec (標準CCD) .
3. 樣品反射率範圍：0.05%~100%
4.  XY樣品載台：150 mm（6吋）手動載台
5. 樣品載台荷重：10 lb（約4.5 kg）
6. 鏡頭傾斜：±6º手動載台傾斜
7. 光學量測模組：雙LED照明（白光＆綠光），可搭配旋轉物鏡。
8. 物鏡選擇：2.5x, 5x, 10x, 50x
9. 視野範圍: 1923 um*1442 um(物鏡2.5x)，959 um*719 um(物鏡5x)，475 um*356um(物鏡10x)，96 um*72 um(物鏡50x)

儀器放置地點：國立成功大學自強校區儀器設備大樓2樓203室

貳、服務項目：

1. 2D/3D量測 (2D/3D measurement)
2. 表面粗糙度 (Surface roughness)
3. 膜厚/段差量測 (Thickness/Height)

參、取樣、使用應注意事項：

1. 自行操作：本設備以提供使用者自行操作為主，使用者先完成儀器訓練課程後，方可自行操作。
2. 適用樣品型態（Sample type）：薄膜 (Thin film)、塊材 (Bluk)，試片尺寸及重量需符合設備規格（XY樣品載台150 mm、縱向量測範圍100 mm、載台荷重4.5 kg）。
3. 樣品需具備一定的反射率，如表面不只一種材質，避免反射率差異導致結果異常，建議先於表面鍍上一層金屬，再進行量測。
4. 視野範圍: 1923 um*1442 um(物鏡2.5x)，959 um*719 um(物鏡5x)，475 um*356um(物鏡10x)，96 um*72 um(物鏡50x)

肆、使用時段與預約：

1.操作時段以半小時為單位計算，一次預約至少半小時。

2.自行操作全時段開放。

3.委託操作開放時段為周一三五下午13:30-16:30與週二四上午09:00-12:00。

※委託操作者請於至少兩個工作天前預約※

伍、訓練課程規定辦法

請到核心設施中心E化系統報名

(http://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/)

陸、收費辦法及標準(含訓練課程)：

校內學術：640元/時(委託代工)，400元/時(自行操作)

校外學術：640元/時(委託代工)，400元/時(自行操作)

業界：2000元/時(委託代工)，1000元/時(自行操作)

訓練課程(含認證): 1500元(學術)，3000元(業界)

柒、儀器聯絡與管理人：

自強校區核心設施中心

姓名：朱紋慧

電話：06-2757575#31379

E-mail：z11005046@ncku.edu.tw

樣品寄送地址：701401 臺南市東區大學路1號 國立成功大學 自強校區照坤精密儀器大樓 2樓 203室    收件人：朱紋慧 小姐

捌、其他注意事項：

委託操作開放時段為:

週一三五  下午13:30-16:30

週二四      上午09:00-12:00

※[重要]委託操作者請於至少兩個工作天前預約※