儀器中文全名

D11 3D數位顯微鏡

儀器英文全名

D11 3D Digital Microscope

儀器位置

自強校區照坤精密儀器大樓2樓 207室

單位／教授

核心設施中心

儀器管理人

鄭宇軒

TEL

06-2757575 #31357

E-mail

z10809028@ncku.edu.tw

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

¢光學檢測：

£光譜儀　¢顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備

£晶相分析：

£XRD

£其他：

£工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

本數位光學顯微鏡內建感光元件，可直接拍攝數位影像，搭配有電動載台與自動景深合成功能，可建立3D影像並以內建軟體進行量測與分析。

廠牌／型號

廠牌：Olympus                           　

型號：DSX2000

重要規格

• 5×、20×、50× 物鏡，放大倍率70×～7000×。
• 遠心光學系統，可以使焦點上方及焦點下方的圖像間的量測結果相同，Z軸重複性精度為1 µm，XY軸可重複性精度2 %，電動鼻輪轉盤。
• 感光元件尺寸為1.1 inch彩色CMOS全域快門模式，最高畫素8192×6000，影像更新率≧60 FPS，內建冷卻裝置。
• 白色LED光源，可以四分區環型照明且含高對比穿透光源模組。
• 控制面板可快速切換觀察模式，物鏡切換。
• 高解析明暗視野專用鏡
• 1.25X N.A. ≧ 0.04，W.D. ≧ 3.5 mm；5X N.A. ≧ 0.15，W.D. ≧ 12 mm；20X N.A. ≧ 0.45，W.D. ≧ 3.0 mm；50X，N.A. ≧ 0.95，W.D. ≧ 0.35 mm
• 3D表面量測功能：截面圖量測、高度量測、輪廓線量測、線粗糙量測、面粗糙量測、表面積量測、體積量測。
• 輪廓線量測：可量測單一輪廓線、通過最高點輪廓線、通過最低點輪廓線。
• 2D量測：點對點距離、平行線距離、角度、面積、圓直徑、圓半徑量測。
• 觀察方法：明視野（BF）、暗視野（DF）、明暗視野（MIX）、陰影浮雕（SR）、偏光（PO）、微分干涉（DIC）、景深擴展等多種拍攝模式。
• XY電動平台，移動行程100 mm。
• 光學景深合成：經由不同景深的自動疊合功能得到全對焦影像。
• 自動拼接全景圖像：在全景視圖中捕捉廣泛區域的2D及3D圖像，將一系列圖像拼接再一起，可以觀察超出視野範圍之外的樣品，並可以設定拼接範圍。
• 語言：中、英、日、德語言切換。
• 檔案：CSV、Excel、JPG、BMP、TIF、PDF。

取樣／使用

注意事項

• 本儀器解析極限受限於可見光波長，若目標小於5 µm效果較差。
• 高倍物鏡工作距離較短（20×：3 mm／50×：1 mm），若樣本表面起伏過大請與管理者討論。
• 景深合成3D影像拍攝基於樣本本身反光之對比與輪廓，形貌複雜與透明的樣本效果較差。
• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

自行操作：

全時段皆開放，操作時段以半小時為單位計算，一次預約至少半小時。

委託操作：

請與管理者聯繫安排時段

訓練課程規定

須通過本中心安全講習與3D數位顯微鏡訓練課程方可自行操作，欲進行訓練課程者請與管理者聯繫。

收費標準（含訓練課程）

校內學術：640元／時（委託代工），400元／時（自行操作）

校外學術：640元／時（委託代工），400元／時（自行操作）

業界：2000元／時（委託代工），1000元／時（自行操作）

訓練課程（含認證）：1000元（學術），2000元（業界）

＊2025年12月31日前使用費半價優惠

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php