E07中性束蝕刻與化學汽相沉積
| E07中性束蝕刻與化學汽相沉積 | |||
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壹、儀器設備說明 (規格)： |
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12吋真空腔體及載台 真空幫浦系統 : 機械幫浦+魯式幫浦+擴散幫浦 可達真空環境 : 10-4 Torr RF Power : 0~800W 載台Bias : 0~ -600V 雙輸出coil 製程氣體 : SF6、CF4、Cl2、Ar、O2 |
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貳、服務項目： |
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純矽蝕刻 |
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參、取樣、使用應注意事項： |
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須註明材料 事先須與負責人討論過製程需求 |
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肆、使用時段與預約： |
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1. 週一至週五早上9:00~下午5:00 |
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伍、訓練課程規定辦法 |
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暫不開放自行操作，統一由負責人代工完成 |
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陸、收費辦法及標準(含訓練課程)：(註1.) |
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校內學術: |
無單位配合款 |
有單位配合款 |
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8000元/天 |
管理單位 |
其他 |
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6000元/天 |
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校外學術：8000元/天 |
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業界：10000元/天 |
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柒、儀器聯絡與管理人： |
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管理員 : 詹長軒 連絡電話 : 0906-997-610 Email : N26064040@mail.ncku.edu.tw 儀器所在地點 : 化工系館10樓93A50 指導教授 : 李文熙 |
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捌、其他注意事項： |
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無 |
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