預約此儀器

壹、儀器設備說明 (規格)：

儀器主要規格：

解析度：SEI：2.5 nm(30 kV), 15 nm(1kV)
BEI：4.0 nm
倍率：×5 to ×100,000
加速電壓：0.5kV to 30kV
探測電流：10-12~10-6A
低真空可變真空度：1 to 270 Pa
樣品最大容許：直徑150 mm × 高度10 mm
及時影像顯示：2560 × 1820 pixels
試片移動範圍：X 軸：80 mm Y 軸：40 mm Z 軸：5 to 48mm
旋轉：360∘ 傾斜角度：-10 to +90∘

EDS：

廠牌/型號：OXFORD/INCA 350
解析度 ≤ 133 eV
晶體偵測器 Si (Li)
元素偵測範圍 B5 ~ U92

貳、服務項目：

1. 本系統以學術研究為主，服務為輔。
2. 本系統提供表面觀察與化學成分分析。
3. 本系統另有鍍金設備。
4. 本系統開放時間為星期一至星期四(09:00-12:00 & 14:00-17:00)， 星期五(09:00-12:00)，星期六日不開放。
5. 本系統服務以1.5 小時為一單元，總計每週開放服務八單元。

參、取樣、使用應注意事項：

1. 試片之製作由使用者自理。
2. 樣品需乾燥，在真空中無揮發性。在電子束照射下會分解或釋放氣體之樣品，因有礙必要之真空維 持，恕不受理。
3. 本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性、混凝土、油脂性及低熔點等有破壞真空之試件。
4. 樣品台不外借，申請者可自行購買SEM 載台，或提早前來準備黏製試片。
5. 本機台SEM 可存取成影像檔(.tiff、.bmp、.jpg)，請自行攜帶光碟片存取檔案，禁止以隨身碟存取檔 案。

肆、使用時段與預約：

1. 每次使用時段以1.5小時為一單元，每週開放服務為8單元。
2. 開放時間為星期一至星期四(09:00-12:00 & 14:00-17:00)， 星期五(09:00-12:00)，星期六日不開放。
3. 預約請與管理者先行聯絡。

伍、訓練課程規定辦法：

請與管理者聯絡。

陸、收費辦法及標準(含訓練課程)：(註1.)

項目說明	計費方式說明
	營利事業單位	學術研究單位		備註
		委託操作	自行操作
SEM	1200元/時	800元/時	600元/時	左列計費方式均未含管理費及營業稅26%
Sputter Coater	300元/200秒	200元/200秒	150元/200秒+0.5元/秒
EDS	700元/點	400元/點	300元/點
影像輸出	20元/張	10元/張	5元/張

※使用低真空環境條件，計費方式為3 倍收費標準。

柒、儀器聯絡與管理人：

　　聯絡人：陳惠茹                  諮詢教授：李澤民

　　分機：06-2353535 ext 5066/5361  分機：06-2353535 ext 5814/5361

　　儀器放置地點：儀設大樓2樓0209室

捌、其他注意事項：

1. 本設備如有特別需求者可與管理者反應，提報設備負責人同意後執行
2. 預約使用必須為本人到場，若有責任歸屬視以該時段預約者之責任。
3. 未經預約使用即自行操作，必須繳交三倍使用時間之金額並永久取消該使用者資格。
4. 未經許可私自帶走本實驗室任何物品者，提報指導教授與實驗室負責人另議懲處。
5. 操作機台時必須詳實填寫使用記錄表，若機台發生異狀需詳實填寫狀況、初步應變措施並盡快通知管 理者處理，若因延遲申報造成機台損毀，視由該使用者之責任並承擔之。
6. 使用者必須遵守操作規範，非關正常操作機台的一切行為一概禁止，如有不當使用之行為經發現將停 權一個月，不當行為後故意不通報者停權三個月。若有毀損儀器將負修理賠償責任並永久取消該使 用者資格並提報指導教授。
7. 試片禁止使用揮發性、油脂性，有破壞真空之試片，所有試片必須確保乾燥。若因試片準備不當造成 真空系統污染，則永久取消該使用者資格且提報指導教授與實驗室負責人另議懲處。
8. 若有私下接受委託操作之行為而未登記者，合格使用者與委託者永久取消其使用資格並提報其指導教 授與實驗室負責人另議懲處。