A04 低/可變真空掃描式電子顯微鏡

A04 Low/Variable Vacuum Scanning Electron Microscope

壹、儀器設備規格

解析度：SEI：2.5 nm (30 kV)、15 nm (1 kV)

               BEI：4.0 nm

倍率：×5～×100,000

加速電壓：0.5 kV～30 kV

探測電流：10^-12～10^-6 A

低真空可變真空度：1～270 Pa

樣品最大容許：直徑150 mm × 高度10 mm

及時影像顯示：2560 × 1820 pixels

試片移動範圍：X軸：80 mm／Y軸：40 mm／Z軸：5 to 48 mm

旋轉：360°

傾斜角度：-10°～+90°

EDS

廠牌／型號：OXFORD/INCA 350

解析度 ≤ 133 eV

晶體偵測器：Si (Li)

元素偵測範圍：B5～U92

貳、服務項目

1. 本系統以學術研究為主，服務為輔。
2. 本系統提供表面觀察與化學成分分析。
3. 本系統另有鍍金設備。
4. 本系統開放時間為星期一至星期四（09:00～12:00 & 14:00～17:00）， 星期五（09:00～12:00），星期六、日不開放。
5. 本系統服務以1.5小時為一單元，總計每週開放服務八單元。

參、取樣與使用注意事項

1. 試片之製作由使用者自理。
2. 樣品需乾燥，在真空中無揮發性。在電子束照射下會分解或釋放氣體之樣品，因有礙必要之真空維 持，恕不受理。
3. 本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性、混凝土、油脂性及低熔點等有破壞真空之試件。
4. 樣品台不外借，申請者可自行購買SEM 載台，或提早前來準備黏製試片。
5. 本機台SEM可存取成影像檔（.tiff、.bmp、.jpg），請自行攜帶光碟片存取檔案，禁止以隨身碟存取檔案。

肆、開放時段

1. 每次使用時段以1.5小時為一單元，每週開放服務為8單元。
2. 開放時間為星期一至星期四（09:00～12:00 & 14:00～17:00）， 星期五（09:00～12:00），星期六、日不開放。
3. 預約請與管理者先行聯絡。

伍、訓練課程規定

請與管理者聯絡

陸、收費標準（含訓練課程）※

＊使用低真空環境條件，計費方式為3 倍收費標準。

柒、儀器聯絡與管理人

聯絡人：陳惠茹                  

分機：06-2353535 ext. 5066/5361 

諮詢教授：李澤民

分機：06-2353535 ext. 5814/5361

儀器放置地點：儀設大樓2樓0209室

捌、其他注意事項

1. 本設備如有特別需求者可與管理者反應，提報設備負責人同意後執行。
2. 預約使用必須為本人到場，若有責任歸屬視以該時段預約者之責任。
3. 未經預約使用即自行操作，必須繳交三倍使用時間之金額並永久取消該使用者資格。
4. 未經許可私自帶走本實驗室任何物品者，提報指導教授與實驗室負責人另議懲處。
5. 操作機台時必須詳實填寫使用記錄表，若機台發生異狀需詳實填寫狀況、初步應變措施並盡快通知管 理者處理，若因延遲申報造成機台損毀，視由該使用者之責任並承擔之。
6. 使用者必須遵守操作規範，非關正常操作機台的一切行為一概禁止，如有不當使用之行為經發現將停 權一個月，不當行為後故意不通報者停權三個月。若有毀損儀器將負修理賠償責任並永久取消該使 用者資格並提報指導教授。
7. 試片禁止使用揮發性、油脂性，有破壞真空之試片，所有試片必須確保乾燥。若因試片準備不當造成 真空系統污染，則永久取消該使用者資格且提報指導教授與實驗室負責人另議懲處。
8. 若有私下接受委託操作之行為而未登記者，合格使用者與委託者永久取消其使用資格並提報其指導教 授與實驗室負責人另議懲處。
9. 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。