High vacuum infrared ultra-speed heating and quenching system

E02高真空紅外線超快速加熱及退火系統

壹、儀器設備說明 (規格)：

 1. THERMO RIKO Infrared heating system GVL298

高真空紅外線快速加熱急退火系統

    (1) Infrared guide section (IG298)

    (2) Vacuum flange

    (3) Guide rod

    (4) Vacuum moving device

    (5) Temperature controller

    (6) Flow switch

2. VACUUM CHAMBER

    A globe type vacuum chamber and sample stand

   (Quartz sample holder, R sheathed thermo couple)

3. VACUUM PUMP OSAKA G350F

Max. heating rate : 100-150ºC/sec

Max. attainable temperature: 1400 ° C

Heating area : 5 to 20mm dia.

貳、服務項目：

 主要應用於快速退火、氧化、氮化、高真空下熱處理等

參、取樣、使用應注意事項：

      一、預約時應詳細填寫包含：升溫流程、最高溫度、停留時間、熱處理真空度(收費包含抽真空、升降溫時間)、氣體流量、試片熔點。

      二、若有特殊需求實驗進行前三天與機台研究助理討論升、降溫過程之合理必要性，特殊製程須經儀器負責人同意，方可使用。

      三、熱穩定性不佳亦造成污染的材料嚴禁進入機台。(如：光阻、塑膠基板、有機材料、膠帶等)。違反造成污染者，須負起機台維修之費用。

四、注意事項

(1)使用前需詳讀操作手冊

(2)結束前將本系統回復室溫以利下位使用者操作，使用步驟需依照操作手冊規定

(3)加熱溫度若高於1000℃持溫時間需小於60 sec，1350℃為加熱上限

(4)適用溫度區間 300-1350℃

(5)結束前所有參數需回復至初始設定(包含所有升降溫區間之溫度、加熱時間歸零)

五、違反上述規定者恕不予服務。

肆、使用時段與預約：

應於預計代工時程14天前到儀設中心上網預約及繳交填寫升溫流程表並與機台研究助理討論。

試車完畢後每周一二三四五09:00-17:00開放super user自行操作。

伍、訓練課程規定辦法

 試車期間開辦super user自行操作訓練課程。未來視需要每季(登記滿五人以上)開辦super user自行操作訓練課程。訓練課程收費比照儀設中心一般機台標準。

陸、收費辦法及標準(含訓練課程)：

校內開放super user自行操作

校外、業界僅開放儀器代工

校內學術:

代工

Super user

真空無通氣體300元/時
通氣體(O2,N2) 400元/時

真空無通氣體250元/時

通氣體(O2,N2) 350元/時

校外學術：真空無通氣體450元/時

             通氣體(O2,N2)) 550元/時

業界：真空無通氣體600元/時

        通氣體(O2,N2)) 700元/時

柒、儀器聯絡與管理人：  

　聯絡人：    　諮詢教授：物理系羅光耀 主任

　分機：　　　　分機：

儀器放置地點：

捌、其他注意事項：

本設備目前維修準備中。