儀器中文全名

E22 高精密線切割機

儀器英文全名

E22 High Precision Wire Saw

儀器位置

儀器設備大樓206室

單位／教授

核心設施中心／陳昭宇教授

儀器管理人

李民楷

TEL

06-2757575 ext. 31414

E-mail

anion3143@hotmail.com

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

£光學檢測：

£光譜儀　£顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備

£晶相分析：

£XRD

¢其他：

¢工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

精密切割單晶及高硬度之樣本。

廠牌／型號

廠牌：K.D. UNIPRESS                              　

型號：WS-25

重要規格

• Sample max. dimensions: appr. 40 mm * 40 mm
• Tungsten wire diameter: 20 & 60 μm
• Diamond doted wire: 100 μm
• Wire oscillation frequency: 150 ~ 200/min

取樣／使用

注意事項

• 適用樣品型態：塊材
• 試片製作由使用者自行處理
• 若機台有任何問題，請洽管理人員處理，勿擅自更動機台設定。
• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

週一～週五，9:00～17:00預約後請與管理者聯繫

訓練課程規定

無

收費標準（含訓練課程）

校內學術：250元／時

校外學術：400元／時

業界：1000元／時

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php