儀器中文全名

D08 三維X光顯微鏡

儀器英文全名

D08 3D X-Ray Microscope

儀器位置

台塑檢驗中心

單位／教授

台塑檢驗中心

儀器管理人

洪慈蓮 博士

TEL

06-2757575轉31359

E-mail

z11205048@ncku.edu.tw

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

¢光學檢測：

£光譜儀　¢顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備

£晶相分析：

£XRD

£其他：

£工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

三維 X 光顯微鏡是一種結合 X 光穿透能力 與 斷層重建技術（CT） 的成像工具，可以在非破壞的情況下，觀察材料或生物樣品的內部結構。

廠牌／型號

廠牌：ZEISS

型號：Xradia 620 Versa

重要規格

• 樣品內部三維影像拍攝
• 樣品內部缺陷位置觀察，可量測長度
• 樣品內部摻雜無機填料或金屬材料尺寸與體積百分比統計

取樣／使用

注意事項

• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

週一至週五，08:00～12:00、13:00～17:00

請先與窗口洪慈蓮博士聯絡，再進行系統預約（06-2757575轉31359）

訓練課程規定

無

收費標準（含訓練課程）

＊僅提供原始數據，如需檢驗報告或圖譜分析則費用另計。

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php