儀器中文全名

E16 鍍碳機

儀器英文全名

E16 Carbon Coater

儀器位置

自強校區 照坤精密儀器大樓2F 206室

單位／教授

核心設施中心

儀器管理人

朱紋慧

TEL

06-2757575 #31379

E-mail

z11005046@ncku.edu.tw

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

¢電子顯微：

£SEM　£TEM　¢樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

£光學檢測：

£光譜儀　£顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備

£晶相分析：

£XRD

£其他：

£工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

鍍碳機主要用於在樣品表面均勻沉積一層導電碳膜，提升非導電樣品在電子顯微鏡（如SEM、TEM）觀測下的成像品質。其功能包括真空控制與碳繩加熱汽化，確保膜層均勻附著。

廠牌／型號

廠牌：Quorum                              　

型號：Q150R E Plus

重要規格

• Working pressure: 20 Pa or less
• Target: Carbon
• Specimen mount: 64 mm dia
• Timer: Digital display
• Evacuation system: Direct drive rotary pump, 135 l/min

取樣／使用

注意事項

• 適用樣品型態（Sample type）：薄膜（Thin film）
• 試片尺寸（Sample size）：≤ Φ64 mm
• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

自行操作：本設備主要提供使用者自行操作，使用者先完成儀器訓練課程後，方可自行操作。

代工服務：收到樣品後，再安排代工服務。

訓練課程規定

請先與管理者聯繫，安排儀器訓練課程。

收費標準（含訓練課程）

校內學術：自行操作100元／次；委託代工：200元／次；以次計價（一次為2股小碳繩）

校外學術：自行操作100元／次；委託代工：200元／次；以次計價（一次為2股小碳繩）

業界：自行操作200元／次；委託代工：400元／次；以次計價（一次為2股小碳繩）

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php