儀器中文全名

E12 高溫石墨爐

儀器英文全名

E12 High Temperature Graphite Furnace

儀器位置

材料新館 44C06室

單位／教授

材料科學及工程學系／林士剛教授

儀器管理人

龔冠臣

TEL

06-2757575 #62961 #1208

E-mail

n58961082@gs.ncku.edu.tw

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

£光學檢測：

£光譜儀　£顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備

£晶相分析：

£XRD

¢其他：

¢工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

高溫石墨爐是一種可在900～2200 °C溫度範圍內，在真空或保護氣氛下，提供一個可控的高溫環境，用於材料的燒結、退火、石墨化、熔煉等製程，並在工業及研究領域有廣泛的應用。

廠牌／型號

廠牌：Carbolite                              　

型號：LHTG 100-200/22-1G

重要規格

• 腔體容積：1.5 L
• 最高溫度（真空；通Ar, 常壓）：2200 ℃
• 最大升溫速率：10 K/min
• 冷卻時間：4 hr
• Ar流量：50～500 l/h

取樣／使用

注意事項

• 預約時應詳細填寫包含：試件成分、升溫流程、最高溫度、停留時間（收費包含抽真空、升降溫時間）、氣體流量、試片熔點。試件不得超過爐體大小（ψxH =100 x 200 (mm)）
• 不接受於高溫中釋放汙染性氣體之試片，違反造成污染者，須負擔機台維修之費用。
• 若有特殊需求實驗進行前三天與機台研究助理討論升、降溫過程之合理必要性，特殊製程須經儀器負責人同意，方可使用。
• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

請於預計代工時程14天前預約，及繳交填寫升溫流程表並與機台負責人討論。

Super user操作使用時間為週一至週五，9:00～17:00。

訓練課程規定

視需要每季（登記滿5人以上）開辦super user自行操作訓練課程。訓練課程收費比照核心設施中心一般機台標準。

收費標準（含訓練課程）

校內學術：代工－真空無通氣體1000元／時；通氣（Ar）1200元／時

          自行操作－真空無通氣體800元／時；通氣（Ar）1000元／時

校外學術：僅開放儀器代工，真空無通氣體1800元／時；通氣（Ar）2000元／時

業界：僅開放儀器代工，真空無通氣體2000元／時；通氣（Ar）2200元／時

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php