E20 準分子燈（Excimer）
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儀器中文全名 |
E20 準分子燈 |
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儀器英文全名 |
E20 Excimer |
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儀器位置 |
醫工系 5754室 |
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單位／教授 |
醫工系（所）／莊漢聲教授 |
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儀器管理人 |
陳駿睿 |
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TEL |
06-2757575 ext. 63431#139 |
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s8391016@gmail.com |
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技術類別 |
£前段製程： |
£微影 £鍍膜 £蝕刻 £擴散 £化學機械研磨 |
£表面分析： |
£電子能譜儀 £表面特性 |
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£後段製程： |
£晶圓針測 £晶圓切割 £黏晶 £打線接合 £封膠 |
£掃描探針： |
£顯微系統 £機械性質 £形貌分析 |
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£電子顯微： |
£SEM £TEM £樣品製備 |
£物理性質： |
£磁性 £熱分析 £電學 |
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£光學檢測： |
£光譜儀 £顯微形貌分析 |
£生物醫學： |
£分析 £樣品製備 |
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£晶相分析： |
£XRD |
¢其他： |
¢工程樣品製備 £材料力學 £電腦計算 |
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£分析化學： |
£核磁共振儀 £質譜／層析 |
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應用／功能 簡介 |
封入氙氣的準分子（Excimer）燈（誘電體屏障放電Excimer燈）可有效放射波長180nm以下的VUV（真空紫外線），達到超越以往的化學反應與反應速度，用於改質成親水性表面。 |
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廠牌／型號 |
廠牌：HAMAMATSU |
型號：L12530-01 |
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重要規格 |
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取樣／使用 注意事項 |
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開放時段 |
請於2天前預約 |
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訓練課程規定 |
只限代工，本系統不提供自行操作 |
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收費標準（含訓練課程） |
校內學術：200元／0.5 hr 校外學術：300元／0.5 hr 業界：500元／0.5 hr ＊計費方式以0.5小時為單位，不足0.5小時以0.5小時計。 |
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預約系統 |
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