儀器中文全名

C01 能量分散式X光螢光元素分析儀

儀器英文全名

C01 Energy Dispersive X-ray Fluorescence

儀器位置

卓群大樓47235室

單位／教授

環工系（所）／劉守恒教授

儀器管理人

陳依楨

TEL

06-2757575 #65850 #43

E-mail

z10408005@email.ncku.edu.tw

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

£光學檢測：

¢光譜儀　£顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備　£服務

£晶相分析：

£XRD

£其他：

£工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

1. 非破壞性直接量粉末、塊材、濾紙、液體等不同材料之氟（F）～鋂（Am）多元素成分分析。
2. 操作快速及樣品前處理簡單。

廠牌／型號

廠牌：Malvern Panalytical

型號：EPSILON 4

重要規格

• 類型：高解析度矽半導體漂移式偵測器
• 分析元素範圍：F氟～Am鋂
• 解析度：< 145 eV (Mn Ka)
• 計數率：1500 kcps (dead time < 50 %)
• 數據處理：4096 Channel多通道處理器MCA

取樣／使用

注意事項

• 每種樣品請準備至少5 cm³，請使用完全密封的容器盛裝樣品並做好密封，若樣品外漏恕不接受委託。
• 測量完成後請務必自行取回樣品。
• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

請聯絡管理人

訓練課程規定

不提供自行操作

收費標準（含訓練課程）

校內學術：1200元／件

校外學術：2200元／件

業界：3000元／件

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php