壹、儀器設備說明 (規格)：

儀器購置年月：2021年10月

加入共儀年月：2023年12月

廠牌及型號：KLA/Alpha-Step D-300

Alpha step 是以探針接觸樣品表面進行一維的掃描，探針會隨著樣品表面形貌而垂直運動，藉此得到一維表面輪廓的資訊

儀器規格：

1. 探針: 2μm 60deg / 5μm 60deg
2. 探針掃描速度:0.01mm/s~0.1mm/s
3. 樣品載台:直徑14cm手動載台，可360度轉動
4. 樣品最大厚度: 2cm
5. 最大掃描高度:50μm
6. 最大掃描長度:30mm

儀器放置地點：國立成功大學自強校區儀器設備大樓2樓203室

貳、服務項目：

1. 膜厚/段差量測 (Thickness/Height)
2. 表面粗糙度 (Surface roughness)

參、取樣、使用應注意事項：

1. 自行操作：本設備以提供使用者自行操作為主，使用者先完成儀器訓練課程後，方可自行操作。
2. 試件直徑最大不超過14cm，最大高度2cm

肆、使用時段與預約：

1.操作時段以半小時為單位計算，一次預約至少一小時。

2.自行操作全時段開放。

3.委託操作開放時段為周一三五下午13:30-16:30與週二四上午09:00-12:00。

※委託操作者請於至少兩個工作天前預約※

伍、訓練課程規定辦法

請到核心設施中心E化系統報名

(http://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/)

陸、收費辦法及標準(含訓練課程)：

校內學術：1000元/時(委託操作)，400元/時(自行操作)

校外學術：1000元/時(委託操作)，400元/時(自行操作)

業界：1500元/時(委託操作)，600元/時(自行操作)

訓練課程(含認證): 1050元(學術)，1600元(業界)

柒、儀器聯絡與管理人：

自強校區核心設施中心

姓名：鄭宇軒

電話：06-2757575#31357

E-mail：z10809028@ncku.edu.tw

樣品寄送地址：701401 臺南市東區大學路1號 國立成功大學 照坤精密儀器大樓2樓203室   收件人：鄭宇軒 先生

捌、其他注意事項：

委託操作開放時段為:

週一三五  下午13:30-16:30

週二四      上午09:00-12:00

※[重要]委託操作者請於至少兩個工作天前預約※