H19 表面粗度儀

H19 Alpha-Step

壹、儀器設備規格

儀器購置年月：2021年10月

加入共儀年月：2023年12月

廠牌及型號：KLA/Alpha-Step D-300

Alpha Step是以探針接觸樣品表面進行一維的掃描，探針會隨著樣品表面形貌而垂直運動，藉此得到一維表面輪廓的資訊

儀器規格：

1. 探針：2 μm 60 deg / 5 μm 60 deg
2. 探針掃描速度：0.01 mm/s～0.1 mm/s
3. 樣品載台：直徑14 cm手動載台，可360度轉動
4. 樣品最大厚度：2 cm
5. 最大掃描高度：50 μm
6. 最大掃描長度：30 mm

儀器放置地點：成功大學自強校區 儀器設備大樓2樓 203室

貳、服務項目

1. 膜厚／段差量測（Thickness/Height）
2. 表面粗糙度（Surface Roughness）

參、取樣與使用應注意事項

1. 自行操作：本設備以提供使用者自行操作為主，使用者先完成儀器訓練課程後，方可自行操作
2. 試件直徑最大不超過14 cm，最大高度2 cm

肆、開放時段

1. 操作時段以半小時為單位計算，一次預約至少半小時
2. 自行操作全時段開放
3. 委託操作開放時段：

週一、三、五：13:30～16:30

週二、四：9:00～12:00

＊委託操作者請於至少２個工作天前預約

伍、訓練課程規定

請至核心設施中心E化系統報名

陸、收費標準（含訓練課程）※

校內學術：1000元／時（委託代工），400元／時（自行操作）

校外學術：1000元／時（委託代工），400元／時（自行操作）

業界：1500元／時（委託代工），600元／時（自行操作）

訓練課程（含認證）：1050元（學術），1600元（業界）

柒、儀器聯絡與管理人

姓名：鄭宇軒

電話：06-2757575 #31357

E-mail：z10809028@ncku.edu.tw

樣品寄送地址：701401 臺南市東區大學路1號 成功大學核心設施中心 自強校區照坤精密儀器大樓2樓 203室

捌、其他注意事項

1. 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。