儀器中文全名

H19 表面粗度儀

儀器英文全名

H19 Alpha-Step

儀器位置

自強校區照坤精密儀器大樓2樓 203室

單位／教授

核心設施中心

儀器管理人

鄭宇軒

TEL

06-2757575 #31357

E-mail

z10809028@ncku.edu.tw

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

¢掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

¢形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

£光學檢測：

£光譜儀　£顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備

£晶相分析：

£XRD

£其他：

£工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

Alpha Step以探針接觸樣品表面進行一維的掃描，記錄探針隨著樣品表面形貌之垂直運動，藉此得到一維表面輪廓的資訊。

廠牌／型號

廠牌：KLA                             　

型號：Alpha-Step D-300

重要規格

• 探針：2 μm 60 deg / 5 μm 60 deg
• 探針掃描速度：0.01 mm/s～0.1 mm/s
• 樣品載台：直徑14 cm手動載台，可360度轉動
• 樣品最大厚度：2 cm
• 最大掃描高度：50 μm（樣本表面起伏勿超過±20 μm為佳）
• 最大掃描長度：30 mm

取樣／使用

注意事項

• 本設備以提供使用者自行操作為主，請報名相關儀器訓練課程取的認證後，方可自行操作。
• 本儀器探針會與樣本直接加壓接觸，若樣本表面剛性不足或具黏性者無法進行量測。
• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

自行操作：全時段皆開放，操作時段以半小時為單位計算，一次預約至少半小時

委託操作：請至少於5個工作天前與管理者聯繫安排時段。

訓練課程規定

請至核心設施中心E化系統報名：https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/index.php/

須通過安全講習與表面粗度儀訓練課程方可自行操作。

收費標準（含訓練課程）

校內學術：1000元／時（委託代工），400元／時（自行操作）

校外學術：1000元／時（委託代工），400元／時（自行操作）

業界：1500元／時（委託代工），600元／時（自行操作）

訓練課程（含認證）：1050元（學術），1600元（業界）

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php