儀器中文全名

H08 1700 ℃真空通氣管狀高溫爐

儀器英文全名

H08 1700 ℃ Vacuum Ventilation Tube Furnaces

儀器位置

理學教學大樓6F #36667

單位／教授

物理系（所）／張烈錚教授

儀器管理人

宋安哲

TEL

06-2757575 #65252 #153

E-mail

L26141191@gs.ncku.edu.tw

技術類別

£前段製程：

£微影　£鍍膜　£蝕刻　£擴散　£化學機械研磨

£表面分析：

£電子能譜儀　£表面特性

£後段製程：

£晶圓針測　£晶圓切割　£黏晶　£打線接合　£封膠

£掃描探針：

£顯微系統　£機械性質　

£形貌分析

£電子顯微：

£SEM　£TEM　£樣品製備

£物理性質：

£磁性　£熱分析　£電學

£光學檢測：

£光譜儀　£顯微形貌分析

£生物醫學：

£分析　£樣品製備　£服務

£晶相分析：

£XRD

¢其他：

¢工程樣品製備　£材料力學　

£電腦計算

£分析化學：

£核磁共振儀　£質譜／層析

應用／功能

簡介

提供燒結樣品的空間，也能通氣體或抽真空。

廠牌／型號

廠牌：LINDBERG

型號：59256-P-COM

重要規格

• 最高可燒結溫度：1450 ℃
• 最高真空度：
  Scroll：6.5 ~ 8*10^-2 torr
  Scroll＋Turbo：2.8 ~ 6.8*10^-5 torr

取樣／使用

注意事項

• 於真空中燒製樣品，事前須確保樣品乾淨
• 不得燒製會揮發或是會釋出氣體的樣品
• 須自備坩鍋或容器
• 不得汙染腔體
• 使用共用儀器設備所取得之各項量測數據，不得用於營利用途、廣告標示、訴訟上證據等其他用途。

開放時段

請事先與管理人聯繫、討論使用時段

訓練課程規定

無

收費標準（含訓練課程）

校內學術：
使用費：2700元／日，不滿一日以一日計算

通氣體（限下列氣體或混和氣體：Ar、N₂、O₂）：依使用量計費（可自備氣體）

真空中燒結：Scroll：使用費＋200元／日；Scroll＋Turbo：使用費＋1000元／日

校外學術：
使用費：3000元／日，不滿一日以一日計算

通氣體（限下列氣體或混和氣體：Ar、N₂、O₂）：依使用量計費（可自備氣體）

真空中燒結：Scroll：使用費＋200元／日；Scroll＋Turbo：使用費＋1000元／日

業界：
使用費：3500元／日，不滿一日以一日計算

通氣體（限下列氣體或混和氣體：Ar、N₂、O₂）：依使用量計費（可自備氣體）

真空中燒結：Scroll：使用費＋200元／日；Scroll＋Turbo：使用費＋1000元／日

預約系統

https://cis.cfc.ncku.edu.tw/apparatus/index.php