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共儀設備介紹
前段製程
鍍膜
E03 超高真空分子束磊晶及三維拓樸材料成長核心設施（Molecular Beam Epitaxy System）
E11 共濺鍍薄膜沉積系統（Co-Sputtering Deposition System）
電子顯微
TEM
A01 穿透式電子顯微鏡（JEM-1400 Transmission Electron Microscope）
A02 場發射低溫穿透式電子顯微鏡（JEM-2100F Transmission Electron Microscope）
樣品製備
E09 離子研磨機（Hitachi Ion Milling System）
E16 鍍碳機（Carbon Coater）
光學檢測
光譜儀
C01 能量分散式X光螢光元素分析儀（Energy Dispersive X-ray Fluorescence）
C07 現地（in-situ）高溫高壓拉曼光學系統（In-situ High-Temperature/High-Pressure Raman System）
C13 傅立葉轉換紅外光譜儀（FTIR）
C14 超微量分光光度計（Nanodrop）
C18 衰減式全反射傅立葉轉換紅外光譜儀（Attenuated Total Reflection Fourier Transform Infrared Spectroscopy (ATR-FTIR)）
C19 顯微拉曼光譜儀（Micro Raman Spectroscopy）
C20 螢光光譜儀（Fluorescence Spectrophotometer）
F05 光電量子轉換效率量測系統（QE/IPCE & Spectroscopy Measurement System）
顯微形貌分析
A08 倒立式共軛焦顯微影像系統（Laser Scanning Confocal Microscope (FV4000)）
C02 掃描式雷射共軛焦顯微影像系統（Confocal Microscope System）
D08 三維X光顯微鏡（3D X-Ray Microscope）
H18 白光干涉儀（White Light Interferometer）
D11 3D數位顯微鏡（D11 3D Digital Microscope）
晶相分析
XRD
D03 粉末X光繞射儀（D2 Phaser System）
D07 X光繞射儀（X-Ray Diffractometer）
D09 小角度X光散射儀（Small-Angle X-Ray Scattering）
D10 X光繞射儀（X-Ray Diffractometer）
分析化學
NMR
H12 400 MHz核磁共振光譜儀（400 MHz Nuclear Magnetic Resonance Spectrometer）
質譜／層析
B11 熱裂解氣相層析質譜儀（Py-GC/MS）
H20 凝膠滲透層析系統／九通道多角度光散射偵測器（GPC-MALLS）
H22 凝膠滲透層析系統（Gel Permeation Chromatography）
表面分析
電子能譜儀
F04 表面凱爾文探針掃描光譜儀與光電子能譜儀（Scanning Kelvin Probe and Air Photoemission Spectroscopy）
表面特性
C22 界面電位分析儀（Zeta-Potential & Particle Size Analyzer, ELSZ-2000ZS）
H05 比表面積及孔隙分析儀（Surface Area and Porosity Analyzer）
H11 全功能型多用吸附儀（Micromeritics 3Flex Physisorption Analyzer）
H15 比表面積及孔洞特性分析儀（BET）
探針掃描
機械性質
C16 奈米力學和奈米磨潤性質測試系統（Hysitron TI 980 Nanomechanical & Nanotribological Testing）
形貌分析
C11 原子力顯微鏡與共軛焦顯微鏡共軸系統（Co-Axial System of Atomic Force Microscopy and Confocal Microscopy）
H19 表面粗度儀（Alpha-Step）
物理性質
熱分析
H17 熱重／示差熱同步熱分析儀（Setaram LABSYS evo, Thermal Analyzer (TGA/DTA/DSC)）
H21 熱傳導係數儀（Thermal Conductivity Analyzer）
電學
F03 穩態太陽光模擬器（Steady-State Solar System Simulator）
F06 四點探針電阻量測儀（Four-Point Probes Resistance Meter）
生物醫學
分析
C08 高解析度流式細胞分析儀（CytoFLEX S Flow Cytometry）
C15 即時聚合酶鏈反應儀（CR & Imaging System）
H03 可程式化超音波陣列研究發展平台（Verasonics Data Acquisition System, VDAS）
H09 酵素免疫分析儀（ELISA Reader）
樣品製備
C21 快速自動化外泌體純化系統（Automated Nanoparticle Isolation System）
E07 微電腦全自動硬組織標本切片機（Fully-Automated Microtome）
E08 奈米級超薄切片機（Ultramicrotome）
H13 穿透式電子顯微鏡免疫金樣品製備（Immunogold Labeling Sample Preparation）
H24 觸控式超音波細胞破碎機（Q700 Sonicator）
服務
H14 冷凍電子顯微鏡高解析單粒子結構測試（客製化服務）（High Resolution Single Particle Structure Determination by Cryo-EM）
其他
工程樣品製備
E06 自動研磨拋光機（Polisher Machine）
E12 高溫石墨爐（High Temperature Graphite Furnace）
E17 3D列印機（3D Printer, Formlabs）
E18 桌面3D掃描機（3D Scanner）
E19 CNC電腦數值控制加工機（CNC Milling Machine）
E20 準分子燈（Excimer）
E22 高精密線切割機（High Precision Wire Saw）
H02 專業CNC銑床精密加工服務（CNC Machining Service）
H07 1200 ℃真空通氣管狀高溫爐（1200 ℃ Vacuum Ventilation Tube Furnaces）
H08 1700 ℃真空通氣管狀高溫爐（1700 ℃ Vacuum Ventilation Tube Furnaces）
H16 觸控式管型高溫爐（Tube Furnace）
材料力學
H10 100噸萬能材料試驗機（100 Ton Material Test Machine）
H23 萬能材料測試機（Autograph AGS-X Universal Tester）
軟體平台
H05 基因體與生物資訊研究平台服務（Genomic and Bioinformatics Analysis Platform Service）
H25 專業3D繪圖與機械設計系統（3D/2D CAD and Mechanical Design Systems）
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工研院紫外線固化式奈米壓印機(ITRI UV-Curing nanoimprinter)(微奈米中心)
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